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地  址:廣東肇慶市高要南岸二期開發區上元村

名稱:三氟化氮      型號:

三氟化氮NF3

 

 商品詳細介紹

 

 

 A colorless,toxic,nonflammable,oxidizing,high pressure gas.
 (一種無色、有毒、不燃、具有氧化性的高壓氣體)

 Formula(分子式):

NF3

 

 Molecular weight(分子量):

71.02g/mol

 

 Boiling point(沸點):

-73℃

-99.4°F

 Melting point(熔點):

-168℃

-270.4°F

 Vapor pressure(蒸汽壓):

9997KPa(21.1℃)

1450Psia(70°F)

 Specific volume(比容):

0.34m3/kg(21.1℃,101.325KPa) 

5.4ft3/lb(70°F,14.696psia)

 Threshold Limit Value(人體的最高容許濃度):

10ppm

 

 UN Number(UN號碼):

UN2451

 

 DOT Classification(DOT類別):

2.2(Nonflammable Gas)(不燃氣體)

 DOT Lable(DOT標簽):

Non-flammable gas (不燃氣體)

 Grsde(級別):

4N

 

 Purity(純度):

99.99%

 

 

 

 純度規格

 

 Impurity(非組分):

Specification(標準)

 Oxygen(氧):

≤10.0  ppmv

 Nitrogen(氮):

≤10.0 ppmv

 Carbon Dioxide(二氧化碳):

≤10.0  ppmv

 Carbon Tetrafluoride(四氟化碳):

≤40.0 ppmv

 Water(水):

≤1.0 ppmv

 Acidity as HF(酸化物,如氟化氫):

≤5.0 ppmv

 Nitrous Oxide(氧化亞氮)

≤10.0 ppmv

 

 

 包裝

容積

重量

連接閥門

 小鋼瓶

44L 

20Kg

CGA640

 

 應用:等離子刻蝕;硅、氮化硅、鎢·硅化合物和鎢薄膜的刻蝕;CVD爐室清洗

 

 

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