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            范 圍:
             
            標準氣體
            高純氣體
            工業氣體
            混合氣體
            超純氣體
            電子特氣
            氣體配件及其他服務

            肇慶市高能達化工有限公司
            聯系人:陳炳(經理)
            手  機:13326721519
            電  話:0758-8360850
                    0758-8360380
            傳  真:0758-8360395
            郵  編:526100
            郵  箱:gndgas@163.com
            地  址:廣東肇慶市高要南岸二期開發區上元村

            名稱:三氟化氮      型號:

            三氟化氮NF3

             

             商品詳細介紹

             

             

             A colorless,toxic,nonflammable,oxidizing,high pressure gas.
             (一種無色、有毒、不燃、具有氧化性的高壓氣體)

             Formula(分子式):

            NF3

             

             Molecular weight(分子量):

            71.02g/mol

             

             Boiling point(沸點):

            -73℃

            -99.4°F

             Melting point(熔點):

            -168℃

            -270.4°F

             Vapor pressure(蒸汽壓):

            9997KPa(21.1℃)

            1450Psia(70°F)

             Specific volume(比容):

            0.34m3/kg(21.1℃,101.325KPa) 

            5.4ft3/lb(70°F,14.696psia)

             Threshold Limit Value(人體的最高容許濃度):

            10ppm

             

             UN Number(UN號碼):

            UN2451

             

             DOT Classification(DOT類別):

            2.2(Nonflammable Gas)(不燃氣體)

             DOT Lable(DOT標簽):

            Non-flammable gas (不燃氣體)

             Grsde(級別):

            4N

             

             Purity(純度):

            99.99%

             

             

             

             純度規格

             

             Impurity(非組分):

            Specification(標準)

             Oxygen(氧):

            ≤10.0  ppmv

             Nitrogen(氮):

            ≤10.0 ppmv

             Carbon Dioxide(二氧化碳):

            ≤10.0  ppmv

             Carbon Tetrafluoride(四氟化碳):

            ≤40.0 ppmv

             Water(水):

            ≤1.0 ppmv

             Acidity as HF(酸化物,如氟化氫):

            ≤5.0 ppmv

             Nitrous Oxide(氧化亞氮)

            ≤10.0 ppmv

             

             

             包裝

            容積

            重量

            連接閥門

             小鋼瓶

            44L 

            20Kg

            CGA640

             

             應用:等離子刻蝕;硅、氮化硅、鎢·硅化合物和鎢薄膜的刻蝕;CVD爐室清洗

             

             

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